特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備,高純度特種氣體多少錢,并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,高純度特種氣體,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子。
特種氣體的介紹
特種氣體用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,重慶特種氣體,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。
特種氣體的運(yùn)輸
算出運(yùn)輸量
氣體混裝的合算
從容器輸運(yùn)的安全來說,1好盡量避免與其它氣體混裝。在不得已混裝時(shí),按照下列方法進(jìn)行合算。
(1)混裝壓縮氣體狀態(tài)的可燃、有毒氣體時(shí);
可燃?xì)怏w量(米3 )/300+有毒氣體量(米3 )/1O0
(2)混裝壓縮氣體狀態(tài)的可燃?xì)夂鸵夯瘹怏w狀態(tài)的有毒氣時(shí):
可燃?xì)怏w量(米3 )/300+有毒氣體量(公斤)/1000
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